[برق و الکترونیک] اپیتکسی فاز بخار فرایند نشاندن ماده که در آن از مواد شیمیایی تبخیر شده برای رشد دادن پوسه های اپیتکسیال روی پولکهای بلور در کوره استفاده می کنند . آن را نشاندن بخار - شیمیایی ( CVD ) نیز می نامند . گازها روی پولکهای گرم شده، داخل محفظه کوره جاری می شوند و با سطح بلور واکنش نشان می دهند تا پوسه نازکی از ماده روی آن بنشیند.
