بیضی سنجی

دانشنامه عمومی

الیپسومتری ( به انگلیسی: Ellipsometry ) روشی نوری ( اپتیکی ) برای مطالعه ویژگی های دی الکتریک لایه های نازک است.
در این روش با بررسی تغییرات قطبش نوز بازتابیده از نمونه، می توان اطلاعاتی دربارهٔ لایه هایی که نازکتر از طول موج نور ( حتی به اندازه یک لایه اتمی ) است، بدست آورد. این اطلاعات می تواند شامل ریخت شناسی، ترکیب شیمیایی، زبری، ضخامت ( عمق ) ، طبیعت کریستالی، غلظت آلایش، رسانایی الکتریکی و غیره باشد. نام الیپسومتری اشاره به این موضوع دارد که بیشتر حالتهای قطبش، بیضی گون هستند.
الیپسومتری تغییر در قطبش در اثر بازتاب یا عبور ( نور ) را اندازه گیری می کند و آن را با مدلی از پیش تعیین شده مقایسه می کند. غالبا الیپسومتری در حالت بازتاب انجام می گیرد. ویژگی های یک ماده باعث می شود قطبش نور بازتابش یافته از آن تغییر کند. تابش الکترومغناطیسی با استفاده از یک منبع نوری انجام می شود و با یک قطبش گر، قطبیده می شود. پس از بازتابش، نور با قطبش گر دیگری که آنالیزور نام دارد برخورد می کند و به حسگر می رسد. می توان از یک جبران کننده در راه تابش و بازتابش استفاده کرد.
زاویه تابش و بازتابش در این روش با هم برابرند. با تجزیه برداری نور قطبیده ( polarized light ) ، نوری که قطبش آن موازی صفحه تابش ( صفحه عمود بر نمونه ) است، P و نوری که قطبش آن عمود بر صفحه تابش است S نام دارد و r s و r p ضرایب بازتاب این دو موج نوری هستند و الیپسومتری اندازه گیری دو پارامتر ( Ψ و Δ ) ، محاسبه پارامترهای استوکس را امکانپذیر می کند:
tan ⁡ Ψ نسبت دامنه نور قطبیده p و s پس از بازتابش و Δ جابجایی فاز بین دو نور قطبیده pو s است.
الیپسومتری روشی غیرمستقیم برای اندازه گیری ویژگی هاست. بدین معنا که از روی Δ و Ψ نمی توان یک راست خواص را بدست آورد مگر اینکه ماده همگن و همسانگرد باشد.
الیپسومتری در مقایسه با روش اندازه گیری شدت بازتابش، مزایایی دارد:
• الیپسومتری دست کم دو پارامتر را برای یک طول موج طیف اندازه گیری می کند. با استفاده از الیپسومتری عمومی، می توان تا 16 پارامتر را برای یک طول موج بدست آورد.
• از آنجا که الیپسومتری تغییرات را ( و نه مقدار مطلق ) اندازه گیری می کند، نیازی به پرتو یا نمونه مرجع ندارد و ناپایداری های شدت نور از منبع یا جذب نور به وسیلهٔ هوا تأثیری بر آن ندارد.
• برای مطالعه مواد ناهمسانگرد این روش بسیار کارآمدتر از روش اندازه گیری شدت بازتابش است.
عکس بیضی سنجی
این نوشته برگرفته از سایت ویکی پدیا می باشد، اگر نادرست یا توهین آمیز است، لطفا گزارش دهید: گزارش تخلف

پیشنهاد کاربران

بپرس